問題 2 / 5
只是把光罩尺寸從 6 吋放大到 12 吋，為什麼會需要整整 7 年時間來準備？難點究竟在哪裡？
AI 根據文章內容回答
放大光罩絕非只是「把玻璃板變大」那麼簡單，它牽動的是整條半導體製造供應鏈的重新設計。難點主要集中在以下幾個面向：
- 材料與物理極限：12 吋大尺寸石英玻璃在極紫外光照射下，要保持絕對平整且不發生極微小的熱變形，技術門檻極高。
- 週邊設備全數更換：現有的光罩盒、自動傳輸系統（AMHS）到光罩瑕疵檢測儀通通無法相容，必須全部重新研發。
- 防塵與瑕疵控制：光罩面積變大，掉落微粒落塵的機率也大幅增加，防護技術必須同步升級。